Desarrollo de Hardware y Software de un Sistema de Espectroscopia de Reflectancia Difusa (DRS) para Medir la Temperatura del Sustrato Semiconductor in-situ
Se desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está ca...
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|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad Tecnologica Nacional
2021-08-01
|
| Series: | Tecnología y Ciencia |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://rtyc.utn.edu.ar/index.php/rtyc/article/view/838 |
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| description | Se desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está calibrado y probado para sustratos de n-GaAs y GaAs. En la comunicación actual, se informa sobre el desarrollo de hardware, software y la calibración del sistema. |
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| institution | Directory Open Access Journal |
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| publishDate | 2021-08-01 |
| publisher | Universidad Tecnologica Nacional |
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| spelling | doaj.art-b03e1d272def4ee0b240934b64dd2ae62022-12-22T02:06:08ZengUniversidad Tecnologica NacionalTecnología y Ciencia1666-69332021-08-014111813410.33414/rtyc.41.118-134.2021611Desarrollo de Hardware y Software de un Sistema de Espectroscopia de Reflectancia Difusa (DRS) para Medir la Temperatura del Sustrato Semiconductor in-situFaramarz Sahra Gard0Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA) - ArgentinaSe desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está calibrado y probado para sustratos de n-GaAs y GaAs. En la comunicación actual, se informa sobre el desarrollo de hardware, software y la calibración del sistema.https://rtyc.utn.edu.ar/index.php/rtyc/article/view/838espectroscopia de reflectancia difusasi-gaasn-gaasmedidas de temperatura |
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