p-GaAs和p-InP的Ti-Pt系统欧姆接触的研究
本文从欧姆接触的基本理论出发,利用溅射Ti-Pt的方法,对p型GaAs和p-InP的欧姆接触进行了研究。得到了比接触电R<sub>c</sub>与Ti-Pt膜总厚度以及与Ti膜厚度关系曲线,并对此进行了分析。与此同时,还对该系统的热稳定性进行了研究。结果表明,该系统的欧姆接触具有良好的性能。...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | zho |
| Published: |
《光通信研究》编辑部
1983-01-01
|
| Series: | Guangtongxin yanjiu |
| Online Access: | http://www.gtxyj.com.cn/thesisDetails#10.13756/j.gtxyj.1983.01.004 |
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| author | 孙序文 解金山 |
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| institution | Directory Open Access Journal |
| issn | 1005-8788 |
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