Protocol for nanoscale thermal mapping of electronic devices using atomic force microscopy with phase change material

Summary: In this protocol, we present a facile nanoscale thermal mapping technique for electronic devices by use of atomic force microscopy and a phase change material Ge2Sb2Te5. We describe steps for Ge2Sb2Te5 thin film coating, Ge2Sb2Te5 temperature calibration, thermal mapping by varying heater p...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Qilong Cheng, Sukumar Rajauria, Erhard Schreck, Robert Smith, Na Wang, Jim Reiner, Qing Dai, David Bogy
التنسيق: مقال
اللغة:English
منشور في: Elsevier 2024-06-01
سلاسل:STAR Protocols
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2666166724002041