Protocol for nanoscale thermal mapping of electronic devices using atomic force microscopy with phase change material

Summary: In this protocol, we present a facile nanoscale thermal mapping technique for electronic devices by use of atomic force microscopy and a phase change material Ge2Sb2Te5. We describe steps for Ge2Sb2Te5 thin film coating, Ge2Sb2Te5 temperature calibration, thermal mapping by varying heater p...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Qilong Cheng, Sukumar Rajauria, Erhard Schreck, Robert Smith, Na Wang, Jim Reiner, Qing Dai, David Bogy
Ձևաչափ: Հոդված
Լեզու:English
Հրապարակվել է: Elsevier 2024-06-01
Շարք:STAR Protocols
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2666166724002041