Low Temperature Adhesive Bonding-Based Fabrication of an Air-Borne Flexible Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer

Low Temperature Adhesive Bonding-Based Fabrication of an Air-Borne Flexible Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer

This paper presents the development of a flexible piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) that can conform to flat, concave, and convex surfaces and work in air. The PMUT consists of an Ag-coated polyvinylidene fluoride (PVDF) film mounted onto a laser-manipulated polymer substrate....

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ:	Wei Liu, Dawei Wu
Ձևաչափ:	Հոդված
Լեզու:	English
Հրապարակվել է:	MDPI AG 2020-06-01
Շարք:	Sensors
Խորագրեր:	flexible piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) air low temperature adhesive bonding time of flight (TOF)
Առցանց հասանելիություն:	https://www.mdpi.com/1424-8220/20/11/3333

Նմանատիպ նյութեր

An Ultrasonic Target Detection System Based on Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
‌: Mingze Gao, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-03-01)

AlN-on-Si Square Diaphragm Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer with Extended Range of Detection
‌: Suresh Alasatri, և այլն
Հրապարակվել է: (2018-11-01)

Beam-Membrane Coupled Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers with Enhanced Transmitting Sensitivity
‌: Mengjiao Qu, և այլն
Հրապարակվել է: (2022-03-01)

A System in Package Based on a Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Matrix for Ranging Applications
‌: Alexandre Robichaud, և այլն
Հրապարակվել է: (2021-04-01)

Development of a High-Density Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array Based on Patterned Aluminum Nitride Thin Film
‌: Eunjung Shin, և այլն
Հրապարակվել է: (2020-06-01)

A Novel Nondestructive Testing Probe Using AlN-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (PMUTs)
‌: Jiawei Yin, և այլն
Հրապարակվել է: (2024-02-01)

Design and Fabrication of High-Performance Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Based on Aluminum Nitride Thin Films
‌: Le Zhang, և այլն
Հրապարակվել է: (2024-08-01)

Reconfigurable ScAlN Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Arrays for Range Finding
‌: Wenling Shang, և այլն
Հրապարակվել է: (2025-01-01)

Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer Technology: Recent Advances and Applications
‌: Yashuo He, և այլն
Հրապարակվել է: (2022-12-01)

Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers with a Cost-Effective Bottom-Up Fabrication Scheme for Millimeter-Scale Range Finding
‌: Guo-Hua Feng, և այլն
Հրապարակվել է: (2019-10-01)

Fabrication and DC-Bias Manipulation Frequency Characteristics of AlN-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer
‌: Tao Li, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-01-01)

Curved and Annular Diaphragm Coupled Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers for High Transmit Biomedical Applications
‌: Yun Zhang, և այլն
Հրապարակվել է: (2024-04-01)

Modeling and Optimization of Directly Modulated Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
‌: Flavius Pop, և այլն
Հրապարակվել է: (2020-12-01)

Advances in Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers
‌: Kevin Brenner, և այլն
Հրապարակվել է: (2019-02-01)

Flexible Ultrasonic Transducer Array with Bulk PZT for Adjuvant Treatment of Bone Injury
‌: Huicong Liu, և այլն
Հրապարակվել է: (2019-12-01)

Development of Broadband High-Frequency Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array
‌: Xu-Bo Wang, և այլն
Հրապարակվել է: (2021-03-01)

TALPINIŲ MIKROMONTUOJAMŲ ULTRAGARSINIŲ KEITIKLIŲ TAIKYMAS = APPLICATION OF CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS
‌: Evaldas Sapeliauskas, և այլն
Հրապարակվել է: (2019-12-01)

Design and Performance Enhancement of a Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Based on NBBT Lead-Free Piezoelectric Single-Crystal Thin Film
‌: Yaqi Liu, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-09-01)

Review of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers for Rangefinders
‌: Jiong Pan, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-02-01)

A High Frame Rate Analog Front-End IC With Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducers Using Analog Multi-Line Acquisition for Ultrasound Imaging Systems
‌: Ji-Yong Jeong, և այլն
Հրապարակվել է: (2021-01-01)

PMMA-Based Wafer-Bonded Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer for Underwater Applications
‌: Mansoor Ahmad, և այլն
Հրապարակվել է: (2019-05-01)

Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (PMUT) Arrays for Integrated Sensing, Actuation and Imaging
‌: Yongqiang Qiu, և այլն
Հրապարակվել է: (2015-04-01)

Polyimide-On-Silicon 2D Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (PMUT) Array
‌: Sanjog Vilas Joshi, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-05-01)

A Review of Broadband Microfabricated Ultrasonic Systems for Biomedical Applications
‌: Roman Yuriiovych Kostiuk, և այլն
Հրապարակվել է: (2024-08-01)

Development of a Highly Sensitive Humidity Sensor Based on a Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array Functionalized with Graphene Oxide Thin Film
‌: Changhe Sun, և այլն
Հրապարակվել է: (2018-12-01)

Squared PMUT with Enhanced Pressure Sensitivities
‌: Eyglis Ledesma, և այլն
Հրապարակվել է: (2018-11-01)

Overview of Ultrasound Detection Technologies for Photoacoustic Imaging
‌: Rayyan Manwar, և այլն
Հրապարակվել է: (2020-07-01)

Development of a Novel Transparent Flexible Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer
‌: Da-Chen Pang, և այլն
Հրապարակվել է: (2017-06-01)

Fabrication and Characterization of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers with Low-Temperature Wafer Direct Bonding
‌: Xiaoqing Wang, և այլն
Հրապարակվել է: (2016-12-01)

Recent Advances in Flexible Ultrasonic Transducers: From Materials Optimization to Imaging Applications
‌: Danyang Ren, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-01-01)

A Gas Flow Measurement System Based on Lead Zirconate Titanate Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer
‌: Tao Liu, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-12-01)

Flexible Thin-Film PZT Ultrasonic Transducers on Polyimide Substrates
‌: Tianning Liu, և այլն
Հրապարակվել է: (2021-02-01)

Development of MEMS Airflow Volumetric Flow Sensing System with Single Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT) Array
‌: Xueying Xiu, և այլն
Հրապարակվել է: (2022-11-01)

High piezoelectricity performance in PSBZT ceramic for ultrasonic transducer
‌: Shengpeng Han, և այլն
Հրապարակվել է: (2023-10-01)

On the Dynamics of a Novel Liquid-Coupled Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Designed to Have a Reduced Resonant Frequency and Enhanced Ultrasonic Reception Capabilities
‌: Stephen Sammut, և այլն
Հրապարակվել է: (2024-09-01)

Additive Manufacturing Electronics for Packaging High-Frequency Aluminum Nitride Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Probes
‌: Vincenzo Mariano Mastronardi, և այլն
Հրապարակվել է: (2024-03-01)

A Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducers (pMUT) Array, for Wide Bandwidth Underwater Communication Applications
‌: Sina Sadeghpour, և այլն
Հրապարակվել է: (2017-08-01)

Experimental Characterization of an Embossed Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer Cell
‌: Yuanyu Yu, և այլն
Հրապարակվել է: (2020-02-01)

Design, Fabrication, and Characterization of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Transcranial, Multifocus Neurostimulation
‌: Tamzid Ibn Minhaj, և այլն
Հրապարակվել է: (2024-08-01)

Mass Sensors Based on Capacitive and Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers—CMUT and PMUT
‌: Haleh Nazemi, և այլն
Հրապարակվել է: (2020-04-01)