Roadmap of mechanical systems design for the semiconductor automatic test equipment industry
Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 1998.
第一著者: | |
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その他の著者: | |
フォーマット: | 学位論文 |
言語: | eng |
出版事項: |
Massachusetts Institute of Technology
2005
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主題: | |
オンライン・アクセス: | http://hdl.handle.net/1721.1/10073 |