Characterization of perfluorocompound emission and abatement kinetics in plasma processes

Characterization of perfluorocompound emission and abatement kinetics in plasma processes

Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Chemical Engineering, 1996.

Бібліографічні деталі
Автор:	Mohindra, Vivek
Інші автори:	Herbert H. Swain.
Формат:	Дисертація
Мова:	eng
Опубліковано:	Massachusetts Institute of Technology 2005
Предмети:	Chemical Engineering
Онлайн доступ:	http://hdl.handle.net/1721.1/11264

Схожі ресурси

Non-perfluorocompound chemistries for plasma etching of dielectrics
за авторством: Tao, Benjamin A. (Benjamin Albert)
Опубліковано: (2008)

Manual of acidic emission abatement technologies : acidic emission abatement processes
Опубліковано: (1991)

Non-perfluorocompound chemistries for dielectric etching applications
за авторством: Pruette, Laura C. (Laura Catherine), 1974-
Опубліковано: (2009)

Air pollution abatement : quantifying automobile emissions
за авторством: Fox, Jonathan Wetmore
Опубліковано: (2005)

The Netherlands acidification abatement plan
Опубліковано: (1989)

Emissions from gas burner, their impact on the environment and abatment techniques
за авторством: Mohd. Jaafar, Mohammad Nazri
Опубліковано: (1997)

A Win-Win Solution to Abate Aviation CO2 Emissions
за авторством: Winchester, N.
Опубліковано: (2017)

Materials Characterization and Spectroscopy for a Methane Abatement Catalyst
за авторством: Wilkinson, Mollie
Опубліковано: (2023)

Role Of Zeolities In Catalytic Abatement Of Volatile Organic Compunds VOCs Pollution.
за авторством: Abdullah, Ahmad Zuhairi, та інші
Опубліковано: (2002)

Analysis of post-Kyoto CO₂ emissions trading using marginal abatement curves
Опубліковано: (2003)

Assessing climate change mitigation proposals for Malaysia: Implications for emissions and abatement costs
за авторством: Rasiah, Rajah, та інші
Опубліковано: (2017)

An Electrochemically-mediated Gas Separation Process for Carbon Abatement
за авторством: Stern, Michael C., та інші
Опубліковано: (2014)

Abatement of atmospheric pollutant emissions with autonomous shipping in maritime transportation using Bayesian probabilistic forecasting
за авторством: Liu, Jiahui, та інші
Опубліковано: (2022)

Strategies for urban noise abatement : an overview/
за авторством: 10988 Organisation for Economic Cooperation and Development. Environment Directorate
Опубліковано: (1975)

Over-Allocation or Abatement? A Preliminary Analysis of the EU Emissions Trading Scheme Based on the 2005 Emissions Data
за авторством: Ellerman, A. Denny., та інші
Опубліковано: (2007)

Reclaiming lost housing : use of the '8 of 58' abatement process
за авторством: Abramson, Arne Steven
Опубліковано: (2012)

Study of plasma-surface kinetics and feature profile simulation of poly-silicon etching in Cl²/HBr plasma
за авторством: Jin, Weidong, 1975-
Опубліковано: (2005)

Kinetics modeling and 3-dimensional simulation of surface roughness during plasma etching
за авторством: Guo, Wei, Ph. D. Massachusetts Institute of Technology
Опубліковано: (2009)

Study of surface kinetics in PECVD chamber cleaning using remote plasma source
за авторством: An, Ju Jin
Опубліковано: (2008)

Over-allocation or abatement? : a preliminary analysis of the EU ETS based on the 2005 emission data
за авторством: Ellerman, A. Denny, та інші
Опубліковано: (2009)

A Top-down and Bottom-up look at Emissions Abatement in Germany in response to the EU ETS
за авторством: Feilhauer, Stephan M. (Stephan Marvin), та інші
Опубліковано: (2009)

Extend aid till pandemic abates
за авторством: Xavier, John Antony
Опубліковано: (2020)

Room and building acoustics and noise abatement /
за авторством: 406356 Furrer, Willi
Опубліковано: (1964)

Economic analysis of transportation noise abatement/
за авторством: 417555 Nelson, Jon P.
Опубліковано: (1978)

Etching kinetics and surface roughening of polysilicon and dielectric materials in inductively coupled plasma beams
за авторством: Yin, Yunpeng, Ph. D. Massachusetts Institute of Technology
Опубліковано: (2009)

Microchemical systems for kinetic studies of catalytic processes
за авторством: Ajmera, Sameer K. (Sameer Kumar), 1975-
Опубліковано: (2005)

Greenhouse Gases Abatement by Catalytic Dry Reforming Of Methane to Syngas over Samarium Oxide-Supported cobalt Catalyst
за авторством: Ayodele, Bamidele V., та інші
Опубліковано: (2017)

Study of plasma-surface kinetics and simulation of feature profile evolution in chlorine etching of patterened polysilicon
за авторством: Chang, Jane Pei-chen, 1967-
Опубліковано: (2010)

Prediction of CO and NOx Abatement in Catalytic Converter of a Compressed Natural Gas Vehicle (CNGV) Cold-Start Engine
за авторством: Abdullah, Luqman Chuah, та інші
Опубліковано: (2011)

Kinetics of chemical processes/
за авторством: 414190 Boudart, Michel
Опубліковано: (1968)

Multivariate endpoint detection of plasma etching processes
за авторством: Goodlin, Brian E., 1974-
Опубліковано: (2005)

A computational study of stimulus driven epileptic seizure abatement
за авторством: Taylor, Peter Neal, та інші
Опубліковано: (2015)

Marginal Abatement Costs and Marginal Welfare Costs for Greenhouse Gas Emissions Reductions: Results from the EPPA Model
за авторством: Morris, Jennifer Faye, та інші
Опубліковано: (2017)

Marginal Abatement Costs and Marginal Welfare Costs for Greenhouse Gas Emissions Reductions: Results from the EPPA Model
за авторством: Morris, Jennifer, та інші
Опубліковано: (2009)

Diagnostics of Electron Temperature in Laser Produced Plasma from Iron Using Plasma X-ray Emission
за авторством: Awadalla, Mohamed Osman, та інші
Опубліковано: (2016)

Characterization and kinetic study of activated sludge process in palm oil mill effluent (POME) treatment
за авторством: Wun, Wee Long
Опубліковано: (2020)

Modeling and managing separation for noise abatement arrival procedures
за авторством: Ren, Liling
Опубліковано: (2008)

The Economic and health consequences of lead paint abatement regulations
за авторством: Gazze, Ludovica A. (Ludovica Angela)
Опубліковано: (2016)

Design of aircraft noise abatement approach procedures for near-term implementation
за авторством: Ho, Nhut Tan, 1974-
Опубліковано: (2006)

Nutritional and immune-regulatory approaches in abating bovine mastitis
за авторством: Mohamed Mustapha, Noordin
Опубліковано: (2004)