A laser-assisted microchemistry system for the fabrication of small electromechanical devices

Thesis (M.S.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 1994.

Opis bibliograficzny
1. autor: Nassuphis, Nick I
Kolejni autorzy: D.J. Ehrlich, A. Slocum.
Format: Praca dyplomowa
Język:eng
Wydane: Massachusetts Institute of Technology 2007
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:http://hdl.handle.net/1721.1/36928