A laser-assisted microchemistry system for the fabrication of small electromechanical devices
Thesis (M.S.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 1994.
1. autor: | |
---|---|
Kolejni autorzy: | |
Format: | Praca dyplomowa |
Język: | eng |
Wydane: |
Massachusetts Institute of Technology
2007
|
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: | http://hdl.handle.net/1721.1/36928 |