Aligned T-gate, fabrication using X-ray lithography

Thesis (M.S.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Electrical Engineering and Computer Science, 1997.

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Meinhold, Mitchell W., 1972-
Tác giả khác: Henry I. Smith.
Định dạng: Luận văn
Ngôn ngữ:eng
Được phát hành: Massachusetts Institute of Technology 2008
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://hdl.handle.net/1721.1/43303
Miêu tả
Tóm tắt:Thesis (M.S.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Electrical Engineering and Computer Science, 1997.