Multi-scale scratching in chemical-mechanical polishing

Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2010.

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Eusner, Thor
Άλλοι συγγραφείς:	Jung-Hoon Chun and Nannaji Saka.
Μορφή:	Thesis
Γλώσσα:	eng
Έκδοση:	Massachusetts Institute of Technology 2011
Θέματα:	Mechanical Engineering.
Διαθέσιμο Online:	http://hdl.handle.net/1721.1/61597

Διαδίκτυο

http://hdl.handle.net/1721.1/61597