Design principles for high performance, low environmental impact silicon cleans
Thesis (Ph.D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Materials Science and Engineering, 2001.
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | |
Μορφή: | Thesis |
Γλώσσα: | eng |
Έκδοση: |
Massachusetts Institute of Technology
2005
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://hdl.handle.net/1721.1/8767 |