Design principles for high performance, low environmental impact silicon cleans

Design principles for high performance, low environmental impact silicon cleans

Thesis (Ph.D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Materials Science and Engineering, 2001.

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Reddy, Anand Junuthula, 1973-
Άλλοι συγγραφείς: Lionel C. Kimerling.
Μορφή: Thesis
Γλώσσα:eng
Έκδοση: Massachusetts Institute of Technology 2005
Θέματα:
Materials Science and Engineering.
Διαθέσιμο Online:http://hdl.handle.net/1721.1/8767

Διαδίκτυο

http://hdl.handle.net/1721.1/8767

Παρόμοια τεκμήρια