MEMS amplification of piezoelectric strain for in-plane actuation
Thesis (S.M.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2003.
מחבר ראשי: | |
---|---|
מחברים אחרים: | |
פורמט: | Thesis |
שפה: | eng |
יצא לאור: |
Massachusetts Institute of Technology
2014
|
נושאים: | |
גישה מקוונת: | http://hdl.handle.net/1721.1/89382 |
סיכום: | Thesis (S.M.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2003. |
---|