Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering
Lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) dideposisi dengan metode de sputtering menggunakan target silikon dalam campuran gas argon dan metan. Indeks bias sebagai fungsi energi diperoleh dari hasil pengukuran transmisi. Indeks bias akan dianalisis terhadap sifat struktur (inframerah) dan komposi...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
2002
|
| Subjects: |
| _version_ | 1826032035895967744 |
|---|---|
| author | Perpustakaan UGM, i-lib |
| author_facet | Perpustakaan UGM, i-lib |
| author_sort | Perpustakaan UGM, i-lib |
| collection | UGM |
| description | Lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) dideposisi dengan metode de sputtering menggunakan target silikon dalam campuran gas argon dan metan. Indeks bias sebagai fungsi energi diperoleh dari hasil pengukuran transmisi. Indeks bias akan dianalisis terhadap sifat struktur (inframerah) dan komposisi
(electron probe microanalysis/EPMA, Rutherford BackscatteringIRBS). Baik
hidrogen maupun karbon keduanya memberikan pengaruh terhadap berkurangnya harga indeks bias dengan bertambahnya flow rate gas metan. Berkurangnya harga indeks bias, hubungannya dengan kepadatan material dan struktur ikatan Si-H, C-H dan Si-C akan didiskusikan.
Kata kunci : indeks bias, sifat optik, inframerah, struktur ikatan |
| first_indexed | 2024-03-13T18:47:09Z |
| format | Article |
| id | oai:generic.eprints.org:22306 |
| institution | Universiti Gadjah Mada |
| last_indexed | 2024-03-13T18:47:09Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada |
| record_format | dspace |
| spelling | oai:generic.eprints.org:223062014-06-18T00:31:30Z https://repository.ugm.ac.id/22306/ Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering Perpustakaan UGM, i-lib Jurnal i-lib UGM Lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) dideposisi dengan metode de sputtering menggunakan target silikon dalam campuran gas argon dan metan. Indeks bias sebagai fungsi energi diperoleh dari hasil pengukuran transmisi. Indeks bias akan dianalisis terhadap sifat struktur (inframerah) dan komposisi (electron probe microanalysis/EPMA, Rutherford BackscatteringIRBS). Baik hidrogen maupun karbon keduanya memberikan pengaruh terhadap berkurangnya harga indeks bias dengan bertambahnya flow rate gas metan. Berkurangnya harga indeks bias, hubungannya dengan kepadatan material dan struktur ikatan Si-H, C-H dan Si-C akan didiskusikan. Kata kunci : indeks bias, sifat optik, inframerah, struktur ikatan [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 2002 Article NonPeerReviewed Perpustakaan UGM, i-lib (2002) Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering. Jurnal i-lib UGM. http://i-lib.ugm.ac.id/jurnal/download.php?dataId=5194 |
| spellingShingle | Jurnal i-lib UGM Perpustakaan UGM, i-lib Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering |
| title | Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering |
| title_full | Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering |
| title_fullStr | Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering |
| title_full_unstemmed | Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering |
| title_short | Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering |
| title_sort | indeks bias dan relasinya terhadap struktur ikatan lapisan tipis amorf silikon karbon a sic h hasil deposisi metode dc sputtering |
| topic | Jurnal i-lib UGM |
| work_keys_str_mv | AT perpustakaanugmilib indeksbiasdanrelasinyaterhadapstrukturikatanlapisantipisamorfsilikonkarbonasichhasildeposisimetodedcsputtering |