Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
1998
|
| Subjects: |
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
1998
|
| Subjects: |