Deposisi lapisan tipis aluminium nitrida (AiN) dengan teknik sputtering dan analisis sifat kekerasan, keausan, serta korosnya
Main Authors: | , MURTONO, , Dr. H. Sumartono Prawirosusanto |
---|---|
Format: | Thesis |
Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
1999
|
Subjects: |
Similar Items
-
Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya
by: Perpustakaan UGM, i-lib
Published: (1999) -
Deposisi lapisan tipis nitrida : silikat dengan metode implantasi ion dan analisis sifat-sifat optisnya
by: , WASIS, et al.
Published: (1998) -
Deposisi bahan lapisan tipis amorf silikon (a-Si) dengan teknik sputtering dan karakterisasi sifat listriknya
by: , MAHARDIKA, I Ketut, et al.
Published: (1997) -
Pembuatan lapisan tipis TiN (titanium nitrida) dengan metode RF-sputtering dan karakterisasinya
by: , IRIANI, Yofentina, et al.
Published: (2000) -
PENGARUH DEPOSISI LAPISAN TIPIS TiN PADA KEKERASAN DAN UMUR PAHAT BUBUT HSS
by: , Mudjijana, Tjipto Suyitno, Karyono
Published: (2003)