Devices of quantum photonics fabricated using Nanoimprint Lithography

Planar-concave microcavities provide longitudinal and transverse optical confinement but are challenging to fabricate. This work reports a new method to fabricate a more scalable monolithic planar-hemispherical cavity using polymers and the deposition of metal mirrors. The FIB-milled stamp with hemi...

Повний опис

Бібліографічні деталі
Автор: Li, Y
Інші автори: Smith, J
Формат: Дисертація
Мова:English
Опубліковано: 2023