Beckman, J., Jackman, R., & Foord, J. (1994). CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA SOURCES - A VIABLE APPROACH FOR CVD DIAMOND GROWTH.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Beckman, J., R. Jackman, und J. Foord. CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA SOURCES - A VIABLE APPROACH FOR CVD DIAMOND GROWTH. 1994.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Beckman, J., et al. CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA SOURCES - A VIABLE APPROACH FOR CVD DIAMOND GROWTH. 1994.
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