Loong, W., Chen, T., Shy, S., Tseng, J., & Lin, R. (1996). TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask.
শিকাগো স্টাইল (17 তম সংস্করণ) উদ্ধৃতিLoong, W., T. Chen, S. Shy, J. Tseng, এবং R. Lin. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
M.L.A (9 ম সংস্করণ) উদ্ধৃতিLoong, W., et al. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
সতর্কবাণী: সাইটেশন সবসময় 100% নির্ভুল হতে পারে না.