Loong, W., Chen, T., Shy, S., Tseng, J., & Lin, R. (1996). TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Loong, W., T. Chen, S. Shy, J. Tseng, και R. Lin. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Loong, W., et al. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.