Loong, W., Chen, T., Shy, S., Tseng, J., & Lin, R. (1996). TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask.
शिकागो शैली (17वां संस्करण) प्रशस्ति पत्रLoong, W., T. Chen, S. Shy, J. Tseng, और R. Lin. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
एमएलए (9वां संस्करण) प्रशस्ति पत्रLoong, W., et al. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
चेतावनी: ये उद्धरण हमेशा 100% सटीक नहीं हो सकते हैं.