Loong, W., Chen, T., Shy, S., Tseng, J., & Lin, R. (1996). TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Loong, W., T. Chen, S. Shy, J. Tseng, ба R. Lin. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Loong, W., et al. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.