Loong, W., Chen, T., Shy, S., Tseng, J., & Lin, R. (1996). TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Loong, W., T. Chen, S. Shy, J. Tseng, i R. Lin. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Loong, W., et al. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..