Loong, W., Chen, T., Shy, S., Tseng, J., & Lin, R. (1996). TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask.
Chicago-referens (17:e uppl.)Loong, W., T. Chen, S. Shy, J. Tseng, och R. Lin. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
MLA-referens (9:e uppl.)Loong, W., et al. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.