Loong, W., Chen, T., Shy, S., Tseng, J., & Lin, R. (1996). TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Loong, W., T. Chen, S. Shy, J. Tseng, và R. Lin. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Loong, W., et al. TiSix as a New Embedded Material for Attenuated Phase Shift Mask. 1996.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.