TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask

TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask

Бібліографічні деталі
Автори:	Loong, W, Chen, T, Shy, S, Tseng, J, Lin, R
Формат:	Conference item
Опубліковано:	1996

Схожі ресурси

Additional Siconi™ pre-clean for reliable TiSix contacts in advanced imager technologies
за авторством: M. Grégoire, та інші
Опубліковано: (2019-03-01)

The new method of fabrication of submicron structures by optical lithography with mask shifting and mask rotation
за авторством: Indykiewicz Kornelia, та інші
Опубліковано: (2013-02-01)

Application of phase shift masking to sub-0.13 micron lithography
за авторством: Koo, Chee Kiong.
Опубліковано: (2008)

Application of phase shift masking to sub-micron contact level lithography
за авторством: Choo, Lay Cheng.
Опубліковано: (2008)

Proximal Algorithms for Discrete-Level Phase-Shifting Mask Design with Application to Optogenetics
за авторством: Dimitris Ampeliotis, та інші
Опубліковано: (2021-10-01)

Acoustic Attenuation of COVID-19 Face Masks: Correlation to Fibrous Material Porosity, Mask Breathability and Bacterial Filtration Efficiency
за авторством: Milena Martarelli, та інші
Опубліковано: (2022-02-01)

Phase shift, amplification, oscillation and attenuation of solitons in nonlinear optics
за авторством: Weitian Yu, та інші
Опубліковано: (2019-01-01)

Determination of seismic attenuation using observed phase shift in sedimentary rocks
за авторством: Baranowski, Jean M
Опубліковано: (2010)

Precision measurement of attenuation and phase-shift at microwave and millimeter-wave frequencies
за авторством: Wu, Yong.
Опубліковано: (2012)

New Phase Shifting Algorithms Insensitive to Linear Phase Shift Errors
за авторством: J. Novák
Опубліковано: (2002-01-01)

Phase-shift mask fabrication at micrometric scale by ion-exchange in glass for astronomical wavefront sensors
за авторством: Prieto-Blanco Xesús, та інші
Опубліковано: (2020-01-01)

Experimental visualization on ionic liquids interfacial absorption process of CO2 by pixelated-array masked phase-shifting interferometry
за авторством: Lin Chen, та інші
Опубліковано: (2022-12-01)

Business model shifts : six ways to create new value for customers /
за авторством: Pijl, Patrick van der, author, та інші
Опубліковано: (2021)

CLINICAL MASKS OF BONE SARCOMAS IN CHILDREN: SIX CLINICAL CASES
за авторством: Maxim Yu. Rykov
Опубліковано: (2018-04-01)

Optimization of via patterns for 0.13 micrometer copper dual damascene technology using phase shift mask
за авторством: Chen, Hao.
Опубліковано: (2008)

Intercomparison of photoacoustic and cavity attenuated phase shift instruments: laboratory calibration and field measurements
за авторством: J. Zhang, та інші
Опубліковано: (2021-10-01)

A new algorithm to estimate attenuation using frequency shift methods
за авторством: Maman Hermana,, та інші
Опубліковано: (2012)

Mask-Shifting-Based Projection Lithography for Microlens Array Fabrication
за авторством: Jianwen Gong, та інші
Опубліковано: (2023-10-01)

Tunable Terahertz Wavefront Modulation Based on Phase Change Materials Embedded in Metasurface
за авторством: Ming Zhang, та інші
Опубліковано: (2022-10-01)

PoMMES: Prevention of Micro-architectural Leakages in Masked Embedded Software
за авторством: Jannik Zeitschner, та інші
Опубліковано: (2024-07-01)

Compound Optical Film Using Gray Scale Mask Embedded with Microvoids
за авторством: C. T. Pan, та інші
Опубліковано: (2012-01-01)

Embedding of Ultrathin Chips in Highly Flexible, Photosensitive Solder Mask Resist
за авторством: Florian Janek, та інші
Опубліковано: (2021-07-01)

Lightweight Conversion from Arithmetic to Boolean Masking for Embedded IoT Processor
за авторством: HanBit Kim, та інші
Опубліковано: (2019-04-01)

Mask‐Type Acoustic Sensor Featuring a Conventional Disposable Mask Embedded with Electrospun Poly(styrene) Fiber Mats
за авторством: Kenichi Takagaki, та інші
Опубліковано: (2024-04-01)

Molecular dynamics study of phase transformations in NiTi shape memory alloy embedded with precipitates
за авторством: Jiayi Chen, та інші
Опубліковано: (2021-01-01)

Acupoint catgut embedding attenuates fibromyalgia pain through attenuation of TRPV1 signaling pathway in mouse
за авторством: Feng-Chen Kao, та інші
Опубліковано: (2024-01-01)

Complex permittivity of materials at broadband frequency using transmission phase shift method
за авторством: Chan, Yi Lin, та інші
Опубліковано: (2017)

Hearing Sensitivity to Shifts of Rippled-Spectrum Sound Signals in Masking Noise.
за авторством: Dmitry I Nechaev, та інші
Опубліковано: (2015-01-01)

Face Masks in the New COVID-19 Normal: Materials, Testing, and Perspectives
за авторством: Ming Hui Chua, та інші
Опубліковано: (2020-01-01)

Microlenses with annular amplitude and phase masks
за авторством: Paeder V., та інші
Опубліковано: (2007-01-01)

Phase mask coronagraphy at JPL and Palomar
за авторством: Serabyn E., та інші
Опубліковано: (2011-07-01)

Performance analysis of dual stator six‐phase embedded‐pole permanent magnet synchronous motor for electric vehicle application
за авторством: Raja Ram Kumar, та інші
Опубліковано: (2023-03-01)

Effective action recognition with embedded key point shifts
за авторством: Cao, Haozhi, та інші
Опубліковано: (2022)

Development of saline loaded mask materials, evaluation of the antimicrobial efficacy and survivability of selected bacteria on these mask materials
за авторством: Julnar Evangelista Pepito, та інші
Опубліковано: (2022-07-01)

The study of a new family of phase masks for three-dimensional fluorescence nanoscopy
за авторством: Gorshelev Aleksei, та інші
Опубліковано: (2018-01-01)

A Novel Polymeric Adsorbent Embedded with Phase Change Materials (PCMs) Microcapsules: Synthesis and Application
за авторством: Xingang Li, та інші
Опубліковано: (2019-05-01)

Ab initio molecular dynamics and materials design for embedded phase-change memory
за авторством: Liang Sun, та інші
Опубліковано: (2021-02-01)

Phase-shifting algorithms with known and unknown phase shifts: comparison and hybrid
за авторством: Chen, Yuchi, та інші
Опубліковано: (2022)

Sensor-Embedded Face Masks for Detection of Volatiles in Breath: A Proof of Concept Study
за авторством: Lorena Di Zazzo, та інші
Опубліковано: (2021-12-01)

Efficient Object Detection Based on Masking Semantic Segmentation Region for Lightweight Embedded Processors
за авторством: Heuijee Yun, та інші
Опубліковано: (2022-11-01)