TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ:	Loong, W, Chen, T, Shy, S, Tseng, J, Lin, R
Ձևաչափ:	Conference item
Հրապարակվել է:	1996

Նմանատիպ նյութեր