Residual stress measurement in thin films at sub-micron scale using Focused Ion Beam milling and imaging

Residual stress measurement in thin films at sub-micron scale using Focused Ion Beam milling and imaging

Zobrazit další vydání (1)

Residual stress evaluation in thin films at the sub-micron scale was achieved in the present study using a semi-destructive trench-cutting (ring-core) method. Focused Ion Beam was employed to introduce the strain relief by milling the slots around an "island" and also to record the images...

Podrobná bibliografie
Hlavní autoři:	Song, X, Yeap, K, Zhu, J, Belnoue, J, Sebastiani, M, Bemporad, E, Zeng, K, Korsunsky, A
Médium:	Journal article
Jazyk:	English
Vydáno:	2012

Podobné jednotky

Residual stress measurement in thin films at sub-micron scale using Focused Ion Beam milling and imaging
Autor: Song, X, a další
Vydáno: (2012)

Residual stress measurement in thin films using the semi-destructive ring-core drilling method using Focused Ion Beam
Autor: Song, X, a další
Vydáno: (2011)

Focused ion beam four-slot milling for Poisson's ratio and residual stress evaluation at the micron scale
Autor: Sebastiani, M, a další
Vydáno: (2014)

Focused ion beam four-slot milling for Poisson's ratio and residual stress evaluation at the micron scale
Autor: Sebastiani, M, a další
Vydáno: (2014)

Focused ion beam ring drilling for residual stress evaluation
Autor: Korsunsky, A, a další
Vydáno: (2009)

Focused ion beam ring drilling for residual stress evaluation
Autor: Korsunsky, A, a další
Vydáno: (2009)

Nanoscale residual stress depth profiling by focused ion beam milling and eigenstrain analysis
Autor: Korsunsky, A, a další
Vydáno: (2018)

Generalised residual stress depth profiling at the nanoscale using focused ion beam milling
Autor: Salvati, E, a další
Vydáno: (2019)

Residual stress evaluation at the micrometer scale: Analysis of thin coatings by FIB milling and digital image correlation
Autor: Korsunsky, A, a další
Vydáno: (2010)

Josephson current suppression in three-dimensional focused-ion-beam fabricated sub-micron intrinsic junctions
Autor: Warburton, P, a další
Vydáno: (2006)

A critical comparison between XRD and FIB residual stressmeasurement techniques in thin films
Autor: Bemporad, E, a další
Vydáno: (2014)

On the measurement and interpretation of residual stress at the micro-scale
Autor: Korsunsky, A, a další
Vydáno: (2010)

ON THE MEASUREMENT AND INTERPRETATION OF RESIDUAL STRESS AT THE MICRO-SCALE
Autor: Korsunsky, A, a další
Vydáno: (2010)

Field-ion specimen preparation using focused ion-beam milling
Autor: Larson, D, a další
Vydáno: (1999)

Sub-micron thin film intrinsic Josephson junctions
Autor: Warburton, P, a další
Vydáno: (2003)

Digital Image Correlation for Elastic Strain Evaluation during Focused Ion Beam Ring-Core Milling
Autor: Uzun, F, a další
Vydáno: (2024)

Focused ion-beam milling for field-ion specimen preparation: preliminary investigations
Autor: Larson, D, a další
Vydáno: (1998)

A New Methodology For In-Situ Residual Stress Measurement In MEMS Structures
Autor: Sebastiani, M, a další
Vydáno: (2010)

Fabrication of 3D microstructures using focused ion beam milling
Autor: Loo, Yee Wei.
Vydáno: (2008)

Characterisation of ion implantation for sub-0.25 micron device manufacturing
Autor: Ong, Kok Keng.
Vydáno: (2008)

Stress evaluation in thin films: Micro-focus synchrotron X-ray diffraction combined with focused ion beam patterning for do evaluation
Autor: Baimpas, N, a další
Vydáno: (2013)

Gradient acoustic focusing of sub-micron particles for separation of bacteria from blood lysate
Autor: Assche, David Van, a další
Vydáno: (2021)

Focused Ion Beam Fabrication
Autor: Melngailis, John, a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Fabrication
Autor: Melngailis, John, a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Fabrication
Autor: Melngailis, John, a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Microfabrication
Autor: Melngailis, John, a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Fabrication
Autor: Melngailis, John, a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Fabrication
Autor: Lezec, Henri J., a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Fabrication
Autor: Musil, Christian, a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Microfabrication
Autor: Melngailis, John, a další
Vydáno: (2010)

Focused Ion Beam Fabrication
Autor: Melngailis, John, a další
Vydáno: (2010)

Stress evaluation in thin films: Micro-focus synchrotron X-ray diffraction combined with focused ion beam patterning for d(o) evaluation
Autor: Baimpas, N, a další
Vydáno: (2013)

Transport of Sub-micron Aerosols in Bifurcations
Autor: Leong, Fong Yew, a další
Vydáno: (2004)

Deep sub-micron voltage reference
Autor: Hnin, Yadanar Ko
Vydáno: (2014)

Measuring and characterizing sub-micron MOSFETs
Autor: Lin, Hong.
Vydáno: (2008)

Discussion on "Interfacial Residual Stress Analysis of Thermal Spray Coatings by Miniature Ring-Core Cutting Combined with DIC Method" by JG Zhu et al., Experimental Mechanics DOI:10.1007/s11340-012-9640-2
Autor: Sebastiani, M, a další
Vydáno: (2014)

Discussion on "Interfacial Residual Stress Analysis of Thermal Spray Coatings by Miniature Ring-Core Cutting Combined with DIC Method" by J.G. Zhu et al., Experimental Mechanics DOI:10.1007/s11340-012-9640-2
Autor: Sebastiani, M, a další
Vydáno: (2014)

Residual stress evaluation and modelling at the micron scale
Autor: Salvati, E
Vydáno: (2017)

Nanosecond-latency sub-micron resolution stripline beam position monitor signal processor for CLIC
Autor: Ramjiawan, RL, a další
Vydáno: (2019)

IDDQ testing for deep sub-micron SOC
Autor: Ye, Xiaocheng.
Vydáno: (2008)