Hesjedal, T., Seidel, W., & Kostial, H. (2002). Near-field phase shift photolithography for high-frequency SAW transducers.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումHesjedal, T., W. Seidel, and H. Kostial. Near-field Phase Shift Photolithography for High-frequency SAW Transducers. 2002.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումHesjedal, T., et al. Near-field Phase Shift Photolithography for High-frequency SAW Transducers. 2002.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.