Formation of diamond and nanocrystalline diamond films by microwave plasma CVD

Formation of diamond and nanocrystalline diamond films by microwave plasma CVD

Diamond growth was carried out using various kinds of substrates and substrate holders in conventional microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition with a mixture of CH4 and H2, and the quality and electrical properties of the diamond films were investigated. The surface morphology and proper...

Повний опис

Бібліографічні деталі
Автори:	Hiramatsu, M, Lau, C, Bennett, A, Foord, J
Формат:	Conference item
Опубліковано:	2002

Схожі ресурси

Measurement of C-2 radical density in microwave methane/hydrogen plasma used for nanocrystalline diamond film formation
за авторством: Hiramatsu, M, та інші
Опубліковано: (2003)

Deposition of highly oriented diamond films by microwave plasma enhanced CVD
за авторством: Liao, Xiao Ning.
Опубліковано: (2010)

The effect of hydrogen on the electronic properties of CVD diamond films
за авторством: Looi, H, та інші
Опубліковано: (1999)

Electrochemically controlled modification of CVD diamond surfaces
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (2004)

Deposition of diamond films by microwave plasma CVD on 4H-SiC substrates
за авторством: Shasha Wei, та інші
Опубліковано: (2023-01-01)

CVD diamond with boron-doped delta-layers deposited by microwave plasma
за авторством: Vikharev A.L., та інші
Опубліковано: (2017-01-01)

Growth of nanocrystalline diamond films for low field electron emission
за авторством: Proffitt, S, та інші
Опубліковано: (1999)

A ROUTE FOR THE FORMATION OF CH2 SPECIES DURING DIAMOND CVD
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1995)

THE GROWTH OF NUCLEATION LAYERS FOR HIGH-QUALITY DIAMOND CVD FROM AN RF PLASMA
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1995)

Inhomogeneities across boron-doped nanocrystalline diamond films
за авторством: J.J. Bennett, та інші
Опубліковано: (2024-06-01)

CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA SOURCES - A VIABLE APPROACH FOR CVD DIAMOND GROWTH
за авторством: Beckman, J, та інші
Опубліковано: (1994)

Interaction of organo-sulfur compounds with CVD diamond surfaces
за авторством: Baral, B, та інші
Опубліковано: (2000)

Influence of material properties on the performance of diamond photocathodes
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (2002)

Deep level transient spectroscopy of CVD diamond: the observation of defect states in hydrogenated films
за авторством: Gaudin, O, та інші
Опубліковано: (2001)

Multiplex H-2 CARS thermometry in a microwave assisted diamond CVD plasma
за авторством: Kaminsky, C, та інші
Опубліковано: (1997)

Sonoelectrochemistry at tungsten-supported boron-doped CVD diamond electrodes
за авторством: Goeting, C, та інші
Опубліковано: (1999)

Electrochemical deposition of nanocrystalline zinc oxide at conductive diamond electrodes
за авторством: Chatterjee, A, та інші
Опубліковано: (2006)

Spectroscopic Ellipsometry of Nanocrystalline Diamond Film Growth
за авторством: Evan L. H. Thomas, та інші
Опубліковано: (2017-10-01)

Characterizations of microwave plasma CVD grown polycrystalline diamond coatings for advanced technological applications
за авторством: Awadesh Kumar Mallik, та інші
Опубліковано: (2014-06-01)

Growth of CVD diamond films for the development of radiation detectors
за авторством: Gan, Bo
Опубліковано: (2008)

Development of diamond-like carbon films by ECR-CVD
за авторством: Yang, Hong
Опубліковано: (2009)

Laser planarization efficiency and roughness of CVD diamond film
за авторством: Shiyu LI, та інші
Опубліковано: (2022-02-01)

Analysis of a Thermal Plasma Diamond CVD System
за авторством: D. Kolman
Опубліковано: (2001-01-01)

Understanding the chemistry of low temperature diamond growth: an investigation into the interaction of chlorine and atomic hydrogen at CVD diamond surfaces
за авторством: Proffitt, S, та інші
Опубліковано: (2000)

Reactive chemistry of C(2)H(x) species on CVD diamond
за авторством: Loh, K, та інші
Опубліковано: (1998)

Boron Doped Nanocrystalline Diamond Films for Biosensing Applications
за авторством: V. Petrák, та інші
Опубліковано: (2011-01-01)

Influence of microwave plasma parameters on light emission from SiV color centers in nanocrystalline diamond films
за авторством: Himics László, та інші
Опубліковано: (2014-11-01)

Paramagnetic defects in CVD diamonds
за авторством: Talbot-Ponsonby, D, та інші
Опубліковано: (1997)

Effect of substrate roughness on the nucleation and growth behaviour of microwave plasma enhanced CVD diamond films – a case study
за авторством: Awadesh Kumar Mallik, та інші
Опубліковано: (2023-12-01)

Tuning the electron affinity of CVD diamond with adsorbed caesium and oxygen layers
за авторством: Loh, K, та інші
Опубліковано: (1997)

Systematic research on the performance of self-designed microwave plasma reactor for CVD high quality diamond
за авторством: Xiao-Jing Li, та інші
Опубліковано: (2018-10-01)

Antibacterial mechanisms of nanocrystalline diamond film and graphene sheet
за авторством: Hong Gi Oh, та інші
Опубліковано: (2019-03-01)

Surface studies of the reactivity of methyl, acetylene and atomic hydrogen at CVD diamond surfaces
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (1998)

CVD diamond for electronic devices and sensors /
за авторством: Sussmann, Ricardo S.
Опубліковано: (2009)

Transmissive diamond photocathodes
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (2005)

Waveguides Written by Femtosecond Laser in CVD Diamonds
за авторством: Perevoznik D., та інші
Опубліковано: (2024-01-01)

Silicon-Vacancy Centers in Ultra-Thin Nanocrystalline Diamond Films
за авторством: Stepan Stehlik, та інші
Опубліковано: (2018-06-01)

Review: Plasma-enhanced chemical vapor deposition of nanocrystalline diamond
за авторством: Katsuyuki Okada
Опубліковано: (2007-01-01)

Studies of molybdenum surface modification for growth of adherent CVD diamond film
за авторством: Vladimir Jesus Trava-Airoldi, та інші
Опубліковано: (2003-06-01)

Growth and Characterization of Polycrystalline CVD Diamond Films Obtained by MWPACVD at High Power 2,45GHz Microwave Discharge
за авторством: J. V. Silva Neto, та інші
Опубліковано: (2022-09-01)