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SEMICONDUCTOR SURFACE ETCHING BY HALOGENS - FUNDAMENTAL STEPS
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Detalhes bibliográficos
Principais autores:
Jackman, R
,
Price, R
,
Foord, J
Formato:
Journal article
Publicado em:
1989
Itens
Descrição
Outras versões (1)
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Registro fonte
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por: Jackman, R, et al.
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