A CMOS Image Sensor Integrated with Plasmonic Colour Filters

A CMOS Image Sensor Integrated with Plasmonic Colour Filters

Multi-pixel, 4. 5 × 9 μm, plasmonic colour filters, consisting of periodic subwavelength holes in an aluminium film, were directly integrated on the top surface of a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) image sensor (CIS) using electron beam lithography and dry etch. The 100 × 100-pixel pl...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Chen, Q, Das, D, Chitnis, D, Walls, K, Drysdale, T, Collins, S, Cumming, D
Ձևաչափ: Journal article
Լեզու:English
Հրապարակվել է: 2012

Նմանատիպ նյութեր

Նմանատիպ նյութեր