Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

عرض إصدارات أخرى (4)
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Kiffner, M, Evers, J, Zubairy, MS
التنسيق: Journal article
اللغة:English
منشور في: Optical Society of America 2009
الوصف
الملخص:

مواد مشابهة