Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Үндсэн зохиолчид: Kiffner, M, Evers, J, Zubairy, MS
Формат: Journal article
Хэл сонгох:English
Хэвлэсэн: Optical Society of America 2009