Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Kiffner, M, Evers, J, Zubairy, MS
Μορφή: Journal article
Γλώσσα:English
Έκδοση: Optical Society of America 2009