Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Kiffner, M, Evers, J, Zubairy, MS
Ձևաչափ: Journal article
Լեզու:English
Հրապարակվել է: Optical Society of America 2009