Polycrystalline silicon field emitters

Polycrystalline silicon field emitters

Ցույց տալ այլ տարբերակներ (1)

Field emission of electrons from polycrystalline silicon micropoint emitters has been investigated. Two process routes, wet and dry etching, were used to form emitters, and their morphologies were compared using a transmission electron microscope (TEM). TEM micrographs of the wet-etched polysilicon...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Boswell, E, Huq, SE, Huang, M, Prewett, P, Wilshaw, P
Ձևաչափ: Conference item
Հրապարակվել է: 1996

Նմանատիպ նյութեր

Նմանատիպ նյութեր