Komposisi ikatan kimia dan mekanisme pertumbuhan filem nipis a-CNx oleh teknik rf-PECVD suhu rendah

Dalam kajian ini, filem nipis karbon nitrida amorfus (a-CNx) telah dimendapkan menggunakan teknik pemendapan wap kimia secara peningkatan berfrekuensi radio, (radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition, rf-PECVD). Sampel disediakan pada suhu substrat yang berbeza iaitu pada 80, 100,...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors: Siti Aisyah Abd Aziz, Rozidawati Awang
Format: Article
Language:English
Published: Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia 2020
Online Access:http://journalarticle.ukm.my/15484/1/24.pdf

Similar Items