Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon
Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran a...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English Malay |
| Published: |
Universiti Putra Malaysia Press
2006
|
| Online Access: | http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/3609/1/Kajian_Mengenai_Kebersandaran_Pembentukan_Keadaan_Potong.pdf |
| Summary: | Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis
larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada
struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram
yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran
anisotropik dengan larutan kalium hidroksida (KOH) dan larutan tetrametil
amonia hidroksida (TMAH) sebagai pemunar. Kerja-keIja simulasi telah
dijalankan dengan menggunakan perisian proses punaran anisotropik
Intellisuite. Berdasarkan geometri struktur penjuru cembung terpunar dan
kemunculan satah-satah baru silikon, diafram beralun silikon yang dipunarkan
di dalam larutan TMAH didapati mengalami keadaan potong bawah penjuru
yang lebih ketara berbanding diafram yang dipunarkan dalam larutan KOH. |
|---|