Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon

Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran a...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors: Soin, Nor Hayati, Majlis, Burhanuddin Yeop
Format: Article
Language:English
Malay
Published: Universiti Putra Malaysia Press 2006
Online Access:http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/3609/1/Kajian_Mengenai_Kebersandaran_Pembentukan_Keadaan_Potong.pdf
_version_ 1825943520285818880
author Soin, Nor Hayati
Majlis, Burhanuddin Yeop
author_facet Soin, Nor Hayati
Majlis, Burhanuddin Yeop
author_sort Soin, Nor Hayati
collection UPM
description Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran anisotropik dengan larutan kalium hidroksida (KOH) dan larutan tetrametil amonia hidroksida (TMAH) sebagai pemunar. Kerja-keIja simulasi telah dijalankan dengan menggunakan perisian proses punaran anisotropik Intellisuite. Berdasarkan geometri struktur penjuru cembung terpunar dan kemunculan satah-satah baru silikon, diafram beralun silikon yang dipunarkan di dalam larutan TMAH didapati mengalami keadaan potong bawah penjuru yang lebih ketara berbanding diafram yang dipunarkan dalam larutan KOH.
first_indexed 2024-03-06T07:01:37Z
format Article
id upm.eprints-3609
institution Universiti Putra Malaysia
language English
Malay
last_indexed 2024-03-06T07:01:37Z
publishDate 2006
publisher Universiti Putra Malaysia Press
record_format dspace
spelling upm.eprints-36092013-05-27T07:09:51Z http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/3609/ Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon Soin, Nor Hayati Majlis, Burhanuddin Yeop Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran anisotropik dengan larutan kalium hidroksida (KOH) dan larutan tetrametil amonia hidroksida (TMAH) sebagai pemunar. Kerja-keIja simulasi telah dijalankan dengan menggunakan perisian proses punaran anisotropik Intellisuite. Berdasarkan geometri struktur penjuru cembung terpunar dan kemunculan satah-satah baru silikon, diafram beralun silikon yang dipunarkan di dalam larutan TMAH didapati mengalami keadaan potong bawah penjuru yang lebih ketara berbanding diafram yang dipunarkan dalam larutan KOH. Universiti Putra Malaysia Press 2006 Article NonPeerReviewed application/pdf en http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/3609/1/Kajian_Mengenai_Kebersandaran_Pembentukan_Keadaan_Potong.pdf Soin, Nor Hayati and Majlis, Burhanuddin Yeop (2006) Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon. Pertanika Journal of Science & Technology, 14 (1 & 2). pp. 41-52. ISSN 0128-7680 Malay
spellingShingle Soin, Nor Hayati
Majlis, Burhanuddin Yeop
Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon
title Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon
title_full Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon
title_fullStr Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon
title_full_unstemmed Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon
title_short Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon
title_sort kajian mengenai kebersandaran pembentukan keadaan potong bawah penjuru terhadap jenis larutan pemunar dalam penghasilan diafram beralun silikon
url http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/3609/1/Kajian_Mengenai_Kebersandaran_Pembentukan_Keadaan_Potong.pdf
work_keys_str_mv AT soinnorhayati kajianmengenaikebersandaranpembentukankeadaanpotongbawahpenjuruterhadapjenislarutanpemunardalampenghasilandiaframberalunsilikon
AT majlisburhanuddinyeop kajianmengenaikebersandaranpembentukankeadaanpotongbawahpenjuruterhadapjenislarutanpemunardalampenghasilandiaframberalunsilikon