CMOS hotplate chemical microsensors /

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Graf, M. (Markus)
Format:
Langue:	eng
Publié:	Berlin : Springer, 2007
Sujets:	Microelectromechanical systems Microfabrication
Accès en ligne:	http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-69562-2

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