Scaling issues and design of MEMS /

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Dettagli Bibliografici
Autori principali: 303337 Baglio, Salvatore, Castorina, Salvatore, Savalli, Nicol
Natura:
Lingua:eng
Pubblicazione: Chichester, West Sussex : John Wiley & Sons, 2007
Soggetti:
Microelectromechanical systems

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