Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

16

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Iyer, Subramanian S., Auberton-Herve, Andre J.
التنسيق:
اللغة:eng
منشور في: London : INSPEC, 2002
الموضوعات:
Integrated circuits
Silicon-on-insulator technology
Microelectromechanical systems

مواد مشابهة