Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

16

מידע ביבליוגרפי
Main Authors: Iyer, Subramanian S., Auberton-Herve, Andre J.
פורמט:
שפה:eng
יצא לאור: London : INSPEC, 2002
נושאים:
Integrated circuits
Silicon-on-insulator technology
Microelectromechanical systems

פריטים דומים