Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /
16
Հիմնական հեղինակներ: | , |
---|---|
Ձևաչափ: | |
Լեզու: | eng |
Հրապարակվել է: |
London : INSPEC,
2002
|
Խորագրեր: |
16
Հիմնական հեղինակներ: | , |
---|---|
Ձևաչափ: | |
Լեզու: | eng |
Հրապարակվել է: |
London : INSPEC,
2002
|
Խորագրեր: |