Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

16

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Iyer, Subramanian S., Auberton-Herve, Andre J.
Ձևաչափ:
Լեզու:eng
Հրապարակվել է: London : INSPEC, 2002
Խորագրեր:
Integrated circuits
Silicon-on-insulator technology
Microelectromechanical systems

Նմանատիպ նյութեր