Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications /

16

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsmän: Iyer, Subramanian S., Auberton-Herve, Andre J.
Materialtyp:
Språk:eng
Publicerad: London : INSPEC, 2002
Ämnen:
Integrated circuits
Silicon-on-insulator technology
Microelectromechanical systems

Liknande verk