Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing II : 10 August 2008, San Diego, California, USA /

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書誌詳細
主要な著者: Postek, Michael T., Allgair, John A. (John Alexander), Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
フォーマット:
言語:eng
出版事項: Washington : SPIE, 2008
主題: