Kajian sifat optik saput tipis amorfus silikon karbida terhidrogen a-SiC:H dimendapkan melalui kaedah percikan megnetron frekuensi radio /
Project Paper (Sarjana Muda Sains (Fizik Industri)) - Universiti Teknologi Malaysia, 2004
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | |
| Language: | may |
| Published: |
2004
|