Enabling technologies for MEMS and nanodevices / edited by H. Baltes ... [et al.]

Enabling technologies for MEMS and nanodevices / edited by H. Baltes ... [et al.]

16

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Baltes, H.
Materialtyp:
Språk:eng
Publicerad: Weinheim : WILEY-VCH Verlag, 2004
Ämnen:
Microelectromechanical systems
Microelectronics
Nanotechnology
Beskrivning
Sammanfattning:16

Liknande verk