The MEMS handbook /
Vol 1. MEMS applications -- v. 2. MEMS design and fabrication -- v. 3. MEMS introduction and fundamentals
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | |
| Språk: | eng |
| Publicerad: |
Boca Raton, FL : Taylor&Francis,
2006
|
| Ämnen: |