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PECVD silicon carbide deposite...
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PECVD silicon carbide deposited at different temperature /
PSZJBL
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:
B. Zatko, J. Huran
,
Hotovy, I.
,
Pezoldt, J.
Format:
Sprache:
eng
Schlagworte:
Silicon carbide
Semiconductors
Exemplare
Beschreibung
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